半导体成膜工艺
半导体用真空泵一般容易存在启动、加速响应慢，抽速不够稳定；运行效率不高；开放大气时易发生过载、过流故障而停机；面对雷雨季节及供电环境不好时，易因瞬时停电或电压暂降而造成真空泵停机，造成半导体生产损失。
设备的特性
1.稳定性
高响应性，抗冲击负载能力强，使真空泵稳定运行。
2.高启动转矩
转矩极限可根据速度切换，使泵在启动及加速过程更快，更稳定。
3.性能
应对半导体不同工艺，通过专用功能，防止过载前提下保证真空泵运行。
4.节能
稳定驱动配置PM电机的真空泵，更加节能。
5.高信赖性
即使发生瞬时停电或电压暂降，可使真空泵保持输出，电压恢复后继续运行。安川变频器在国内外的真空泵设备上广泛应用，业内。能够使半导体用真空泵在不同的半导体工艺下，稳定运行，满足客户需求。
